[实用新型]一种全自动离子束刻蚀机有效
| 申请号： | 201820082690.3 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN208315502U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 周杰海 | 申请（专利权）人： | 东莞市鸿村环保设备制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/20 |
| 代理公司： | 东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙) 44460 | 代理人： | 陈凯玉 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转动盘 横臂 滑动套杆 纵杆 底座 离子束刻蚀机 本实用新型 横向凹槽 连接模块 矩形板 矩形板表面 壳体内表面 大型玻璃 底座表面 固定相连 活动连接 刻蚀玻璃 平行设置 圆形夹板 纵向凹槽 放射管 内表面 上端面 重合 槽面 壳体 刻蚀 离子 平行 加工 配合 | ||
1.一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板(1)、横臂(2)、纵杆(5)、转动盘(6)、离子放射管(8)、圆形夹板(10)和底座(12)，其特征在于：所述矩形板(1)表面上加工有横向凹槽(14)和纵向凹槽(15)，所述横臂(2)滑动安装城横向凹槽(14)内，所述横臂(2)上安装有滑动套杆(3)，且横臂(2)和滑动套杆(3)活动连接，所述滑动套杆(3)上固定安装有纵杆(5)，且滑动套杆(3)正下方平行设置有转动盘(6)，转动盘(6)的轴线与纵杆(5)的轴线相重合，所述转动盘(6)与连接模块(7)固定相连，且转动盘(6)与连接模块(7)的上端面位于同一平面上，所述矩形板(1)固定于壳体(4)的内表面，所述壳体(4)内表面的底部设置有底座(12)，底座(12)上放置有待刻蚀玻璃(11)，且底座(12)表面与横臂(2)平行，所述连接模块(7)的一端安装有离子放射管(8)，且离子放射管(8)的轴线与纵杆(5)的轴线平行。
2.根据权利要求1所述的一种全自动离子束刻蚀机，其特征在于：所述待刻蚀玻璃(11)放置于底座(12)上，且待刻蚀玻璃(11)的外圈设置有置于底座(12)上的圆形夹板(10)。
3.根据权利要求2所述的一种全自动离子束刻蚀机，其特征在于：所述圆形夹板(10)的开口处设置有通电磁铁(9)。
4.根据权利要求1所述的一种全自动离子束刻蚀机，其特征在于：所述圆形夹板(10)的一端固定安装有转动管(13)，且转动管(13)的另一端竖向滑动安装在纵向凹槽(15)内。
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