[实用新型]气帘装置及晶圆盒载运设备

摘要

一种气帘装置包含：壳体、透气板及固定环。固定环套设于透气板的外围。透气板能透过固定环而固定设置于壳体中，且固定环能使透气板与壳体之间形成气密。壳体与外部供气设备相连接时，外部供气设备所提供的气体能通过透气板后均匀地向外排出。气帘装置透过固定环及透气板的相互配合，透气板可以方便地固定设置于壳体中，且可以提升透气板与壳体之间的气密效果。本实用新型还提供一种晶圆盒载运设备，其包含有前述气帘装置，气帘装置可以在晶圆盒开启时，于晶圆盒前方形成气流墙，可有效避免外部环境的脏污进入晶圆盒中。

主权项

1.一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。