[发明专利]一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811639694.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109900368A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘合欢;冯侨华;施云波;牛昊东;魏彤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01J5/34 | 分类号： | G01J5/34;H01L31/09;H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 宋诗非 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器及其制备方法，属于热释电探测器领域，为了解决现有的热释电探测器结构设计复杂、韧性不佳、与不同种探测器芯片材料不兼容问题。本发明的上电极层设置在磷烯红外吸收层与热释电探测层之间；下电极层设置在热释电探测层之间与隔热绝缘层之间；隔热绝缘层设置在基底层上；制备方法为取陶瓷圆片进行极化、打磨、清洗并烘干，形成的热释电陶瓷圆片制备上下电极层；将制备的磷烯溶液涂覆在上电极层上；按照所需尺寸切割；取基底层清洗、烘干后制备隔热绝缘层，并在隔热绝缘层上制备金属层；金属层与下电极层键合到一起；引出上电极、下电极。有益效果为提高了热释电探测器的探测精度与灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 热释电探测器 隔热绝缘层 红外吸收层 热释电探测 下电极层 电极层 基底层 金属层 烘干 修饰 清洗 热释电陶瓷 探测器芯片 上下电极 陶瓷圆片 灵敏度 电极 极化 不兼容 下电极 键合 涂覆 圆片 打磨 切割 探测 | ||
【主权项】：
1.一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器，其特征在于，该热释电探测器包括磷烯红外吸收层(1)、上电极层(2)、热释电探测层(3)、下电极层(4)、隔热绝缘层(5)和基底层(6)；所述上电极层(2)设置在磷烯红外吸收层(1)与热释电探测层(3)之间；所述下电极层(4)设置在热释电探测层(3)之间与隔热绝缘层(5)之间；所述隔热绝缘层(5)设置在基底层(6)上。
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