[发明专利]一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器，其特征在于，该热释电探测器包括磷烯红外吸收层(1)、上电极层(2)、热释电探测层(3)、下电极层(4)、隔热绝缘层(5)和基底层(6)；

所述上电极层(2)设置在磷烯红外吸收层(1)与热释电探测层(3)之间；

所述下电极层(4)设置在热释电探测层(3)之间与隔热绝缘层(5)之间；

所述隔热绝缘层(5)设置在基底层(6)上。

2.根据权利要求1所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器，其特征在于，所述上电极层(2)和下电极层(4)分别为铬铜双电极层，其中铬电极层靠近热释电探测层(3)设置。

3.基于权利要求1所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，该制备方法是通过以下步骤实现的：

步骤一、取陶瓷圆片进行极化处理后，经过打磨、清洗并烘干，形成热释电陶瓷圆片；

步骤二、将步骤一中形成的热释电陶瓷圆片两侧分别制备上电极层和下电极层；

步骤三、制备具有一定黏性的磷烯溶液；

步骤四、将步骤三中配制好的具有一定黏性的磷烯溶液涂覆在上电极层上，形成磷烯红外吸收层；

步骤五、将涂覆有磷烯溶液的热释电陶瓷圆片切割成所需尺寸；

步骤六、取基底层，清洗、烘干后，在基底层上制备隔热绝缘层，并在隔热绝缘层上制备用于键合的金属层；

步骤七、将步骤六中制备的金属层与步骤五中切割后的热释电陶瓷圆片的下电极层键合到一起；

步骤八、引出上电极、下电极，制备完成。

4.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤一中的陶瓷圆片选用锆钛酸铅陶瓷圆片。

5.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤二中上电极层和下电极层的制备方法为：磁控溅射法。

6.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤三中一定黏性的磷烯溶液的制备方法为：取黑磷晶体，通过超声剥离、离心取液、配制成膜，形成一定黏性的磷烯溶液。

7.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤四中，通过旋涂法或丝网印刷法将配制好的具有一定黏性的磷烯溶液涂覆在上电极层上。

8.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤六中，基底层选用硅材料制成；隔热绝缘层选用氮化硅或二氧化硅制成，并通过磁控溅射或热蒸法在隔热绝缘层上制备金属层。

9.根据权利要求3所述的一种磷烯红外吸收层修饰的热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤八中，通过小面积擦除的方法引出上电极、下电极。