[发明专利]一种实时监测显影过程的方法在审
| 申请号： | 201811632684.1 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109655953A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 姜岩秀;李文昊;吴娜;郑钟铭;杨硕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/32;G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种实时监测显影过程的方法，该方法包括：确定光电接收器的位置；当潜像光栅开始显影时，用激光照射潜像光栅，用光电接收器接收潜像光栅的衍射光信号；根据该衍射光信号获取衍射光的强弱变化曲线；最后根据所述曲线确定显影截止点。该方法通过观察显示器上衍射光的强弱变化曲线就能够直观地了解显影的进度，当曲线中的衍射光强度下降至刚趋于平缓时，即为显影截止点，此时停止显影，将有利于得到高质量的全息光栅掩模。该方法简单、可操作性强、重复性高，将其应用于研制高质量的全息光栅掩模时，能够提高研究效率，并得到较好的全息光栅掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 光栅 全息光栅 衍射光 潜像 掩模 光电接收器 衍射光信号 强弱变化 实时监测 显影过程 截止点 观察显示器 激光照射 曲线确定 直观 进度 应用 研究 | ||
【主权项】：
1.一种实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述方法包括：确定光电接收器的位置；当潜像光栅开始显影时，用激光照射所述潜像光栅，用所述光电接收器接收所述潜像光栅的衍射光信号；根据所述衍射光信号获取衍射光的强弱变化曲线；根据所述曲线确定显影截止点。
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