[发明专利]一种实时监测显影过程的方法

权利要求书

1.一种实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述方法包括：

确定光电接收器的位置；

当潜像光栅开始显影时，用激光照射所述潜像光栅，用所述光电接收器接收所述潜像光栅的衍射光信号；

根据所述衍射光信号获取衍射光的强弱变化曲线；

根据所述曲线确定显影截止点。

2.如权利要求1所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，实施所述方法的实时监测装置包括：显影模块、衍射光接收模块和监测模块，所述显影模块包括显影罐、以及设于所述显影罐上的光栅定位组件，所述光栅定位组件用于将光栅固定在显影罐中进行显影；

所述衍射光接收模块包括激光器和光电接收器，所述激光器用于发出激光照射所述光栅，所述光电接收器用于接收激光照射所述光栅后从所述光栅衍射出的光信号；所述监测模块包括与所述光电接收器连接的数据处理器、和与所述数据处理器连接的显示器，所述光电接收器接收到的光信号经过所述数据处理器处理后在所述显示器上显示为衍射光的强弱变化曲线。

3.如权利要求2所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述确定光电接收器的位置包括：

将标准光栅置于所述光栅定位组件上；

用激光照射所述标准光栅，在所述标准光栅的衍射光信号方向放置所述光电接收器。

4.如权利要求2或3所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述光栅定位组件包括滑轨单元、用于将所述滑轨单元固定在所述显影罐内的第一固定机构、以及滑块单元；

所述滑轨单元包括：两条平行间隔设置的滑轨、以及用于支撑所述两条滑轨的支撑机构；所述滑块单元包括：与所述两条滑轨滑动配合的滑块、以及用于将光栅固定在所述滑块上的第二固定机构，所述第二固定机构设于所述滑块上。

5.如权利要求4所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述将标准光栅置于所述光栅定位组件上包括：通过所述第二固定机构将所述标准光栅固定于所述滑块上，然后将所述滑块置于所述滑轨中；以及

所述当潜像光栅开始显影时包括：将所述滑块从所述滑轨中取出；解开所述第二固定机构将所述标准光栅取下，继续通过所述第二固定机构将所述潜像光栅固定于所述滑块上，然后将所述滑块置于所述滑轨中。

6.如权利要求5所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述标准光栅的刻槽密度与所述潜像光栅的刻槽密度相同。

7.如权利要求1-3中任一项所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述激光的波长为632.8nm。

8.如权利要求1-3中任一项所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述光电接收器接收的衍射光信号为-1级衍射光信号。

9.如权利要求8所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述根据所述衍射光信号获取衍射光的强弱变化曲线包括：

所述光电接收器将所述衍射光信号转换为电信号后传输给所述数据处理器，所述数据处理器将所述电信号处理后在所述显示器上显示为-1级衍射光能量与显影时间的关系曲线。

10.如权利要求9所述的实时监测显影过程的方法，其特征在于，所述根据所述曲线确定显影截止点包括：

当所述-1级衍射光能量下降至刚趋于平缓时，停止显影。