[发明专利]基于图形分类的离子注入层OPC方法

摘要

本发明提供一种基于图形分类的离子注入层OPC方法，包括：有源区图形和栅极图形；覆盖有源区图形和栅极图形的离子注入层图形；定义栅极方向和源漏极方向及离子注入层图形中平行于栅极方向的边和平行于源漏极方向的边；对该平行于栅极方向的边进行移动，对得到的离子注入层图形中的垂直于栅极方向的边进行移动，最终得到基于图形分类尺寸补偿的图形层；对图形层进行基于模型的OPC处理，得到光罩版图。本发明对离子注入层的边进行分类移动实现不同的尺寸补偿，在降低了离子注入层的光阻收缩剥落风险的同时，能够降低过度补偿或补偿不足的风险，从而保证前层图形离子注入的准确性。

主权项

1.一种基于图形分类的离子注入层OPC方法，其特征在于，该方法至少包括：步骤一、提供版图，所述版图包括：有源区图形和位于该有源区图形上层相互平行分布的数个条形结构的栅极图形；覆盖所述有源区图形和所述栅极图形的离子注入层图形；步骤二、根据所述有源区图形和所述栅极图形确定版图中栅极方向和源漏极方向，所述栅极方向为所述条形栅极的长边方向；步骤三、所述离子注入层图形为多边形根据所述离子注入层图形的边与所述有源区图形和栅极图形的位置关系，确定所述离子注入层图形中平行于所述栅极方向的边和平行于所述源漏极方向的边；步骤四、对所述离子注入层图形平行于栅极方向的边进行移动，使所述离子注入层图形垂直于所述栅极方向的边得到尺寸变化；步骤五、对经过步骤四得到的离子注入层图形中的垂直于所述栅极方向的边进行移动，使所述离子注入层图形平行于所述栅极方向的边得到尺寸变化，得到基于图形分类尺寸补偿的图形层；步骤六、对所述图形层进行基于模型的OPC处理，得到光罩版图。