[发明专利]具有嵌入在防反射层中的栅格图案的图像传感器

摘要

具有嵌入在防反射层中的栅格图案的图像传感器。一种图像传感器可包括：多个光电转换元件，其形成在基板中，并且多个隔离区域设置在多个光电转换元件之间；防反射层，其形成在基板上方；多个栅格图案，其形成在防反射层上方；多个滤色器，其介于多个栅格图案之间；以及微透镜，其形成在滤色器上方。各个栅格图案可包括上栅格部分和下栅格部分，并且下栅格部分的底部被嵌入在防反射层中。

主权项

1.一种图像传感器，该图像传感器包括：/n多个光电转换元件，所述多个光电转换元件形成在基板中，各个光电转换元件响应光以生成光感测电信号；/n多个隔离区域，所述多个隔离区域设置在相邻光电转换元件之间并且被配置为将所述多个光电转换元件彼此隔离；/n防反射层，该防反射层形成在所述基板上方以减小光学反射，以通过所述防反射层方便入射到所述光电转换元件的光的光学透射；/n多个栅格图案，所述多个栅格图案形成在所述防反射层上方以分离所述多个光电转换元件上方的空间，所述光电转换元件通过所述空间接收入射光；/n多个滤色器，所述多个滤色器布置在所述多个栅格图案之间，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过对应光电转换元件；以及/n多个微透镜，所述多个微透镜分别形成在所述多个滤色器上方以将入射光通过所述滤色器引导到所述光电转换元件，/n其中，各个所述栅格图案包括上栅格部分以及设置在所述上栅格部分下方的下栅格部分，并且/n所述下栅格部分的底部被嵌入在所述防反射层中。/n