[发明专利]具有嵌入在防反射层中的栅格图案的图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，该图像传感器包括：

多个光电转换元件，所述多个光电转换元件形成在基板中，各个光电转换元件响应光以生成光感测电信号；

多个隔离区域，所述多个隔离区域设置在相邻光电转换元件之间并且被配置为将所述多个光电转换元件彼此隔离；

防反射层，该防反射层形成在所述基板上方以减小光学反射，以通过所述防反射层方便入射到所述光电转换元件的光的光学透射；

多个栅格图案，所述多个栅格图案形成在所述防反射层上方以分离所述多个光电转换元件上方的空间，所述光电转换元件通过所述空间接收入射光；

多个滤色器，所述多个滤色器布置在所述多个栅格图案之间，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过对应光电转换元件；以及

多个微透镜，所述多个微透镜分别形成在所述多个滤色器上方以将入射光通过所述滤色器引导到所述光电转换元件，

其中，各个所述栅格图案包括上栅格部分以及设置在所述上栅格部分下方的下栅格部分，并且

所述下栅格部分的底部被嵌入在所述防反射层中。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述上栅格部分具有比所述下栅格部分的水平宽度大的水平宽度。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述上栅格部分的侧表面具有第一倾斜，

所述下栅格部分的侧表面具有第二倾斜，并且

所述第二倾斜比所述第一倾斜更垂直于所述基板的表面。

4.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括：

侧反射层，所述侧反射层形成在所述栅格图案的侧表面上。

5.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述侧反射层与所述滤色器接触。

6.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述侧反射层具有比所述滤色器的折射率小的折射率。

7.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述上栅格部分的顶表面具有与所述侧反射层基本上相同的水平宽度。

8.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述侧反射层具有在垂直方向平坦的侧表面。

9.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述侧反射层的上部的平均水平厚度小于所述侧反射层的下部的平均水平厚度。

10.根据权利要求4所述的图像传感器，该图像传感器还包括：

涂层，该涂层按照衬垫形状形成在所述防反射层的顶表面和所述栅格图案的表面上。

11.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，所述侧反射层具有比所述涂层的折射率低的折射率。

12.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，各个所述隔离区域包括下隔离区域和上隔离区域，并且

所述下隔离区域包括离子注入区域，并且所述上隔离区域包括形成在所述基板中所形成的隔离沟槽中的单元隔离区域。

13.根据权利要求12所述的图像传感器，其中，所述单元隔离区域包括形成在所述隔离沟槽中的外单元隔离区域、中单元隔离区域和内单元隔离区域，并且

所述外单元隔离区域覆盖所述中单元隔离区域的侧表面，并且所述中单元隔离区域覆盖所述内单元隔离区域的侧表面。

14.根据权利要求13所述的图像传感器，其中，所述防反射层包括下单元防反射层、中单元防反射层和上单元防反射层。

15.根据权利要求14所述的图像传感器，其中，所述下单元防反射层和所述外单元隔离区域包括第一材料，

所述中单元防反射层和所述中单元隔离区域包括第二材料，并且

所述上单元防反射层和所述内单元隔离区域包括第三材料。