[发明专利]一种超高纯硅溶胶的制备方法在审

专利信息
申请号: 201811601337.2 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109455724A 公开(公告)日: 2019-03-12
发明(设计)人: 鲁原野;龙立华 申请(专利权)人: 江苏德鑫新材料科技有限公司
主分类号: C01B33/141 分类号: C01B33/141
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 金波
地址: 222000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种超高纯硅溶胶的制备方法,包括以下步骤:1)将多晶硅破碎成粒粉,取破碎好的硅粉100~600g,用盐酸和氢氟酸混合溶液浸泡10~50min,然后对其进行抽滤,用超纯水过滤至过滤溶液的pH值为中性;2)取1000g的超纯水加入0.05~5%的碱和步骤(1)所得的酸洗硅粉,加热至40‑80℃,保温至72小时,过滤后溶液备用;3)步骤1)所得的酸洗硅粉100~200g,放入1000g超纯水中,加入50~100g步骤2)的溶液,加热至40‑80度保温72小时;4)真空抽率,即得。本发明以高纯多晶硅为主要原料,通过表面纯化、活化,在本体形核剂的作用下,经高温加热得到超高纯度的硅溶胶,金属含量<3ppm,纯度极高,可广泛应用于高端电子电器行业。
搜索关键词: 硅溶胶 硅粉 过滤 超纯水 超高纯 酸洗 制备 加热 保温 氢氟酸混合溶液 电子电器行业 高纯多晶硅 超高纯度 高温加热 破碎成粒 多晶硅 真空抽 抽滤 放入 高端 核剂 活化 水中 盐酸 备用 浸泡 破碎 金属 应用
【主权项】:
1.一种超高纯硅溶胶的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将多晶硅破碎成粒粉,取破碎好的硅粉100~600g,用盐酸和氢氟酸混合溶液浸泡10~50min,然后对其进行抽滤,用超纯水过滤至过滤溶液的pH值为中性,得到酸洗硅粉;2)取1000g的超纯水加入0.05~5%的碱和步骤(1)所得的酸洗硅粉,加热至40‑80℃,保温至72小时,过滤后溶液备用;3)步骤1)所得的酸洗硅粉100~200g,放入1000g超纯水中,加入50~100g步骤2)的溶液,加热至40‑80度保温72小时;4)取步骤3)的溶液,进行真空抽率,得到半透明溶液即为超高纯硅溶胶。
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