[发明专利]一种超高纯硅溶胶的制备方法在审
| 申请号： | 201811601337.2 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109455724A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 鲁原野;龙立华 | 申请（专利权）人： | 江苏德鑫新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 金波 |
| 地址： | 222000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅溶胶 硅粉 过滤 超纯水 超高纯 酸洗 制备 加热 保温 氢氟酸混合溶液 电子电器行业 高纯多晶硅 超高纯度 高温加热 破碎成粒 多晶硅 真空抽 抽滤 放入 高端 核剂 活化 水中 盐酸 备用 浸泡 破碎 金属 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种超高纯硅溶胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将多晶硅破碎成粒粉，取破碎好的硅粉100～600g，用盐酸和氢氟酸混合溶液浸泡10～50min，然后对其进行抽滤，用超纯水过滤至过滤溶液的pH值为中性，得到酸洗硅粉；
2)取1000g的超纯水加入0.05～5％的碱和步骤(1)所得的酸洗硅粉，加热至40-80℃，保温至72小时，过滤后溶液备用；
3)步骤1)所得的酸洗硅粉100～200g，放入1000g超纯水中，加入50～100g步骤2)的溶液，加热至40-80度保温72小时；
4)取步骤3)的溶液，进行真空抽率，得到半透明溶液即为超高纯硅溶胶。
2.如权利要去1所述的超高纯硅溶胶的制备方法，其特征在于，所述的多晶硅的纯度大于6N。
3.如权利要去1所述的超高纯硅溶胶的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中将多晶硅破碎成粒径为0.05-5mm的硅粉。
4.如权利要去1所述的超高纯硅溶胶的制备方法，其特征在于，所述超纯水的电阻率大于10兆欧。
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