[发明专利]薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和液晶显示屏有效
申请号: | 201811568574.3 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN109659371B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 李明娟 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/49;H01L21/336;G02F1/1368 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和液晶显示屏。所述薄膜晶体管包括:基板;位于所述基板上方的有源区;于所述有源区中心的沟道区;位于所述沟道区两侧的源漏区;位于所述沟道区上方的栅极介质层;位于所述栅极介质层上方的反射涂层;位于所述反射涂层上方的栅极金属;覆盖所述栅极金属、有源区和基板的层间介质层;贯穿所述层间介质层,与所述源漏区表面电连接的金属插塞。本发明通过提高液晶显示屏的薄膜晶体管的不透光区的反射率,从而提高了液晶显示屏的透光率,改善了液晶显示屏的性能。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 制作方法 液晶显示屏 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:基板;位于所述基板上方的有源区;位于所述有源区中心的沟道区;位于所述沟道区两侧的源漏区;位于所述沟道区上方的栅极介质层;位于所述栅极介质层上方的反射涂层;位于所述反射涂层上方的栅极金属;覆盖所述栅极金属、有源区和基板的层间介质层;贯穿所述层间介质层,与所述源漏区表面电连接的金属插塞。
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