[发明专利]薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和液晶显示屏有效

专利信息
申请号: 201811568574.3 申请日: 2018-12-21
公开(公告)号: CN109659371B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 李明娟 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/49;H01L21/336;G02F1/1368
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和液晶显示屏。所述薄膜晶体管包括:基板;位于所述基板上方的有源区;于所述有源区中心的沟道区;位于所述沟道区两侧的源漏区;位于所述沟道区上方的栅极介质层;位于所述栅极介质层上方的反射涂层;位于所述反射涂层上方的栅极金属;覆盖所述栅极金属、有源区和基板的层间介质层;贯穿所述层间介质层,与所述源漏区表面电连接的金属插塞。本发明通过提高液晶显示屏的薄膜晶体管的不透光区的反射率,从而提高了液晶显示屏的透光率,改善了液晶显示屏的性能。
搜索关键词: 薄膜晶体管 制作方法 液晶显示屏
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:基板;位于所述基板上方的有源区;位于所述有源区中心的沟道区;位于所述沟道区两侧的源漏区;位于所述沟道区上方的栅极介质层;位于所述栅极介质层上方的反射涂层;位于所述反射涂层上方的栅极金属;覆盖所述栅极金属、有源区和基板的层间介质层;贯穿所述层间介质层,与所述源漏区表面电连接的金属插塞。
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