[发明专利]一种半导体设备及其射频加载方法有效
| 申请号： | 201811556619.5 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111341636B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 丁安邦;史小平;陈鹏;兰云峰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/455;C23C16/517 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备及其射频加载方法，该半导体设备包括：反应腔室、射频源和匹配器，所述射频源用于产生射频功率信号，还包括信号发生器和调制器，其中，所述信号发生器用于产生脉冲信号；所述调制器用于对所述射频功率信号和所述脉冲信号进行调制，并通过所述匹配器将调制后的射频功率加载到所述反应腔室，以获得理想的工艺结果。通过本发明，有利于反应腔室的起辉以及反射功率稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 及其 射频 加载 方法 | ||
【主权项】：
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