[发明专利]蒸镀装置

摘要

提供一种能够将基板和掩模的相对位置的精度提高的蒸镀装置。具备：保持机构，其在收纳有蒸镀源(51)的蒸镀室(50)内以使非透射性的基板(W)的表面(WF)朝向蒸镀源(51)的状态保持基板(W)，并且在蒸镀源(51)与基板(W)之间保持蒸镀掩模(M)；拍摄部，其从基板(W)的与蒸镀掩模(M)侧相反的一侧对蒸镀室(50)内的基板(W)和蒸镀掩模(M)进行拍摄；上部结构体，其连接到保持机构及拍摄部；下部结构体，其支承上部结构体；以及连接部(59)，其被上部结构体和下部结构体夹着，对上部结构体和下部结构体进行连接，连接部(59)具备抑制振动从下部结构体向上部结构体传递的防振功能。

主权项

1.一种蒸镀装置，具备：保持机构，其在收纳有蒸镀源的蒸镀室内以使非透射性的基板的表面朝向所述蒸镀源的状态保持所述基板，并且在所述蒸镀源与所述基板之间保持蒸镀掩模；拍摄部，其从所述基板的与蒸镀掩模侧相反的一侧对所述蒸镀室内的所述基板和所述蒸镀掩模进行拍摄；上部结构体，其连接到所述保持机构及所述拍摄部；下部结构体，其支承所述上部结构体；以及连接部，其被所述上部结构体和所述下部结构体夹着，对所述上部结构体和所述下部结构体进行连接，所述连接部具备抑制振动从所述下部结构体向所述上部结构体传递的防振功能。