[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，具备：

保持机构，其在收纳有蒸镀源的蒸镀室内以使非透射性的基板的表面朝向所述蒸镀源的状态保持所述基板，并且在所述蒸镀源与所述基板之间保持蒸镀掩模；

拍摄部，其从所述基板的与蒸镀掩模侧相反的一侧对所述蒸镀室内的所述基板和所述蒸镀掩模进行拍摄；

上部结构体，其连接到所述保持机构及所述拍摄部；

下部结构体，其支承所述上部结构体；以及

连接部，其被所述上部结构体和所述下部结构体夹着，对所述上部结构体和所述下部结构体进行连接，

所述连接部具备抑制从所述下部结构体向所述上部结构体传递振动的防振功能，

所述拍摄部拍摄第1像和第2像，该第1像基于由所述基板的平坦部反射的光形成，该第2像基于由与所述平坦部连接的斜面部反射的光形成，

所述蒸镀装置进一步具备图像处理部，该图像处理部提取基于所述第1像和所述第2像的对比度的所述平坦部和所述斜面部的边界作为所述基板的外形的一部分，使用该提取的外形的一部分来检测所述基板的位置，

所述基板包括所述表面和与所述表面相反的一侧的背面，所述表面包括基板标记，

所述蒸镀装置进一步具备：

前段模块，其在所述蒸镀室的前段收纳所述基板；以及

反转室，其使从所述前段模块被搬入的所述基板的表面背面反转，并将所述基板搬入到所述蒸镀室，

所述前段模块具备背面拍摄部和表面拍摄部，

所述背面拍摄部与所述背面对置，拍摄第1像和第2像，该第1像基于由所述基板的平坦部反射的光形成，该第2像基于由与所述平坦部连接的斜面部反射的光形成，

所述表面拍摄部与所述表面对置，拍摄所述基板标记，

所述图像处理部提取基于所述背面拍摄部拍摄的所述第1像和所述第2像的对比度的所述平坦部和所述斜面部的边界作为所述基板的外形的一部分，使用该提取的外形的一部分确定所述基板的背面位置，且根据所述表面拍摄部拍摄的所述基板标记的位置来确定所述基板的表面位置，用所述表面位置和所述背面位置的偏差量来校正根据所述蒸镀室的所述拍摄部的拍摄结果而检测出的所述基板的位置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，

所述下部结构体是所述蒸镀室具备的真空槽。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其中，

所述保持机构具备旋转机构和升降机构，该旋转机构使所述基板和所述蒸镀掩模在所述基板的圆周方向旋转，该升降机构使所述基板和所述蒸镀掩模各自独立地升降。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其中，

具备多个所述连接部，

各个连接部分散于所述基板的圆周方向。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

所述基板是处理基板，

作为光透射性的基板的校正基板的表面具备多个校正标记，

所述表面拍摄部用与各校正标记对应的照相机拍摄所述校正基板的表面，

所述背面拍摄部用与各校正标记对应的照相机拍摄所述校正基板的背面，

所述图像处理部根据所述表面拍摄部的各照相机拍摄所述校正标记的结果算出所述表面拍摄部的照相机间的相对位置，使用该照相机间的相对位置和所述表面拍摄部的各照相机拍摄所述处理基板的结果算出所述表面位置，

并且，所述图像处理部根据所述背面拍摄部的各照相机拍摄所述校正标记的透射图像的结果算出所述背面拍摄部的照相机间的相对位置，使用该照相机间的相对位置和所述背面拍摄部的各照相机拍摄所述处理基板的结果算出所述背面位置。