[发明专利]金属掩膜蒸镀装置及其冷却板在审
| 申请号： | 201811537374.1 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109338306A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，所述冷却板的下表面在靠近边缘的地方设有稍微凸出的可拆装压条，所述可拆装压条可在压合的过程中使玻璃基板产生局部弯曲，从而消除在所述玻璃基板边缘处，掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象，进而消除局部混色，提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 压条 金属掩膜 蒸镀装置 可拆装 冷却板 玻璃基板边缘 玻璃基板贴合 玻璃基板 产品良率 局部弯曲 凸出的 下表面 掩膜板 混色 压合 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其特征在于，包含：一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。
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