[发明专利]张网设备

摘要

本发明提供一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；包括：张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，第一夹具固定于金属掩膜板的第一端部，第二夹具固定于金属掩膜板相对另一端的第二端部；水平板，可升降地设置于金属掩膜板上方；测量机构，设置于张网设备的工作区域内，用以对金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，磁吸机构，可升降地设置于水平板上方，用以吸附金属掩膜板，使得金属掩膜板产生形变；有益效果为：本发明提供的张网设备，在制作金属掩膜板时，模拟金属掩膜板在使用中的形变，通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息，对金属掩膜板进行调整，进而得到高精度的金属掩膜板。

主权项

1.一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；其特征在于，所述张网设备包括：张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，所述第一夹具固定于所述金属掩膜板的第一端部，所述第二夹具固定于所述金属掩膜板相对另一端的第二端部；水平板，可升降地设置于所述金属掩膜板上方；测量机构，设置于所述张网设备的工作区域内，所述测量机构用以在所述工作区域内作三维移动，以对所述金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，磁吸机构，可升降地设置于所述水平板上方，用以吸附所述金属掩膜板，使得所述金属掩膜板产生形变。