[发明专利]金属掩膜蒸镀装置及其冷却板在审
| 申请号： | 201811537374.1 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109338306A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压条 金属掩膜 蒸镀装置 可拆装 冷却板 玻璃基板边缘 玻璃基板贴合 玻璃基板 产品良率 局部弯曲 凸出的 下表面 掩膜板 混色 压合 冷却 | ||
1.一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其特征在于，包含：
一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；
至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及
至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。
2.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。
3.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。
4.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。
5.如权利要求4所述的冷却板，其特征在于，所述凸起距离大于为500微米。
6.一种金属掩膜蒸镀装置，包含：
一掩膜板，用于放置一玻璃基板；
一蒸镀器，设于所述掩膜板的下方，用于向上提供一蒸镀气体；
一移动机构，设于所述掩膜板的上方，用于向下提供一压合力；
一磁吸板，设于所述移动机构的下方，用于提供与所述掩膜板之间的一磁吸力；及
一冷却板，设于所述磁吸板的下方，用于提供所述掩膜板的冷却作用；
其特征在于，所述冷却板包含：
一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；
至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及
至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。
7.如权利要求1所述的金属掩膜蒸镀装置，其特征在于，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。
8.如权利要求1所述的金属掩膜蒸镀装置，其特征在于，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。
9.如权利要求1所述的金属掩膜蒸镀装置，其特征在于，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。
10.如权利要求9所述的金属掩膜蒸镀装置，其特征在于，所述凸起距离大于为500微米。
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