[发明专利]金属掩膜蒸镀装置及其冷却板

说明书

本发明公开一种金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，所述冷却板的下表面在靠近边缘的地方设有稍微凸出的可拆装压条，所述可拆装压条可在压合的过程中使玻璃基板产生局部弯曲，从而消除在所述玻璃基板边缘处，掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象，进而消除局部混色，提升产品良率。

技术领域

本发明涉及一种金属掩膜蒸镀装置，特别是涉及一种具有可拆装压条的冷却板的金属掩膜蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)以其自发光、全固态、高对比度、可弯曲等优点，成为目前最具发展前景的新型显示器件。在OLED产品制造过程中需使用精密的金属掩模板(mask)遮挡有机材料来定义像素(pixel)区域，从而使蒸发的有机材料沉积在像素区域内。

请参照图1及图2所示，图1是现有的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图，图2是现有的一掩膜板的示意图。如图1及图2所示，现有的一种金属掩膜蒸镀装置1主要包含一掩膜板2，所述掩膜板2上用于放置一玻璃基板3。另外，所述金属掩膜蒸镀装置1还包含一蒸镀器4、一移动机构5、一磁吸板6及一冷却板7，其中所述蒸镀器4设于所述掩膜板2的下方，用于向上提供一蒸镀气体；所述移动机构5设于所述掩膜板2的上方，用于向下提供一压合力；所述磁吸板6设于所述移动机构5的下方，用于提供与所述掩膜板2之间的一磁吸力；及所述冷却板7设于所述磁吸板6的下方，用于提供所述掩膜板2的冷却作用。

如图2所示，在所述掩膜板2上放置所述玻璃基板3，所述掩膜板2与所述玻璃基板3贴合的紧密程度直接影响产品的良率，在实际生产中通过使用所述冷却板7来减小所述玻璃基板3的下垂量，同时消除热胀导致的所述玻璃基板3与所述掩膜板2间的错位，并通过施加所述磁吸板6使所述掩膜板2与所述玻璃基板3紧密地贴合。

然而，由于所述玻璃基板3存在轻微下垂，且所述掩膜板2本身为一框架，其中间包含一掩模片2a，所述掩模片2a是通过焊接的方式将其两端固定在所述掩模板2的框架上，所以在所述玻璃基板3的边缘位置上，所述掩膜板2与所述玻璃基板3存在间隙，其中又以所述掩模片2a的四个角落处最为严重，这些间隙会直接导致所述玻璃基板3在蒸镀后产生混色缺陷，因而降低了产品良率。

因此，有必要提供一种改良的金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，所述冷却板的下表面设有稍微凸出的可拆装压条，从而消除在掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象。

为达上述目的，本发明提供一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其包含：

一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；

至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及

至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。

在本发明的一实施例中，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。

在本发明的一实施例中，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。

在本发明的一实施例中，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。

在本发明的一实施例中，所述凸起距离大于为500微米。

为达上述目的，本发明另提供一种金属掩膜蒸镀装置，包含：

一掩膜板，用于放置一玻璃基板；

一蒸镀器，设于所述掩膜板的下方，用于向上提供一蒸镀气体；

一移动机构，设于所述掩膜板的上方，用于向下提供一压合力；

一磁吸板，设于所述移动机构的下方，用于提供与所述掩膜板之间的一磁吸力；及