[发明专利]一种平面平行度批量测量方法

摘要

本发明提出一种平面平行度批量测量方法，通过一台自准直平行光管和被测元件之间的位置关系，能实现平行度的快速精确测定，适用于所有的需要测试平面平行度的元件，无材料限制，所需设备简单，前期调整建立好基准位置后，测量过程不需要调整，每次测量时，被测元件仅靠自身重力保证自身位置，使其中一面紧贴基准面，无需调整，大大提高了测量效率，将零件测量时间由小时缩短到秒，本方法应用广泛，实用性强，非接触式测量，能实现平行度的快速精确的批量化检测。

主权项

1.一种平面平行度批量测量方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：准备一台带十字目标源的自准直平行光管，将其固定在垂直调节支架上，调整自准直平行光管相对位置，使其出光口向下；步骤2：在自准直平行光管出光口下方的光滑平台上放置平面反射镜，所述平面反射镜上下两个面的平行度在10”以内；步骤3：调整自准直平行光管相对平面反射镜的位置和方向，使自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来成像，并显示在与自准直平行光管相连的显示器上；调整光滑平台以及自准直平行光管的位置，使反射成像位于显示器屏幕中心，并以此作为基准位置；步骤4：当被测元件为可反光的被测元件，则将该被测元件放置在平面反射镜上面，观察自准直平行光管出射的光束经被测元件反射回来的成像位置，根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度；当被测元件为不反光的被测元件，则将该被测元件放置在平面反射镜下面，观察自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来的成像位置，根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度。