[发明专利]一种用于微压测量的压力传感器有效

专利信息
申请号: 201811459910.0 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN109374192B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 金忠;刘又清;张龙赐;曹勇全;石慧杰;谢明 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: G01L9/02 分类号: G01L9/02;G01L9/04
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;蒋维特
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种用于微压测量的压力传感器,包括由4个压敏电阻构成的惠思登电桥,供电电路和输出电路;所述压敏电阻的掺杂浓度小于等于1016cm‑3;所述供电电路分别与所述惠思登电桥的1号接口和3号接口连接,为所述惠思登电桥供电;所述供电电路中还设置有温漂补偿电阻;所述输出电路与所述惠思登电桥的2号接口和4号接口连接,用于将所述惠思登电桥的输出信号放大后输出。具有灵敏度高,分辨率高等优点。
搜索关键词: 一种 用于 测量 压力传感器
【主权项】:
1.一种用于微压测量的压力传感器,其特征在于:包括由4个压敏电阻构成的惠思登电桥,供电电路和输出电路;所述压敏电阻的掺杂浓度小于等于1016cm‑3;所述供电电路分别与所述惠思登电桥的1号接口和3号接口连接,为所述惠思登电桥供电;所述供电电路中还设置有温漂补偿电阻;所述输出电路与所述惠思登电桥的2号接口和4号接口连接,用于将所述惠思登电桥的输出信号放大后输出。
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