[发明专利]一种显示基板的制作方法及显示基板、显示装置有效
申请号: | 201811392502.8 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN109300967B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 魏燕芳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种显示基板的制作方法及显示基板、显示装置,该方法包括:提供衬底基板;在衬底基板上形成像素驱动电路;在像素驱动电路上形成同层设置的第一钝化层和第一电极层,第一钝化层具有阵列分布的多个镂空区域,镂空区域对应像素区域设置,第一电极层位于镂空区域内,与第一钝化层之间具有间隙;沉积第二钝化层,第二钝化层的一部分位于第一钝化层和第一电极层上,一部分填充于间隙,并在间隙的位置形成凹槽,凹槽朝向远离衬底基板的方向开口,凹槽的槽底宽度大于凹槽的槽口宽度,在槽底处形成倒角结构。本发明所提供的显示基板的制作方法、显示基板及显示装置,无需专用设备来对第一电极介质层进行图案化处理,简化生产工序,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 显示 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种显示基板的制作方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:提供一衬底基板;在所述衬底基板上形成像素驱动电路,所述像素驱动电路限定出阵列排布的多个像素区域;在所述像素驱动电路上形成同层设置的第一钝化层和第一电极层,其中所述第一钝化层具有阵列分布的多个镂空区域,所述镂空区域对应所述像素区域设置,所述第一电极层位于所述镂空区域内,并与所述第一钝化层之间具有间隙;沉积第二钝化层,所述第二钝化层的一部分位于所述第一钝化层和所述第一电极层上,一部分填充于所述间隙内,且所述第二钝化层在填充于所述间隙的位置形成凹槽,所述凹槽朝向远离所述衬底基板的方向开口,所述凹槽的槽底宽度大于所述凹槽的槽口宽度,以在所述槽底处形成倒角结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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