[发明专利]一种阵列多孔空心阴极放电电子源有效
| 申请号： | 201811360713.3 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109686631B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | H01J1/02 | 分类号： | H01J1/02;H01J1/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列多孔空心阴极放电电子源，包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环，其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；阵列多孔板为放电金属板，其上设置有多个阵列贯通孔，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；磁体套装在基座上，空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应及阴极环吸收阳离子并在磁场下汇聚射出电子，为真空涂层工艺过程提供高能电子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 多孔 空心 阴极 放电 电子 | ||
【主权项】：
1.一种阵列多孔空心阴极放电电子源，其特征为：其包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环；其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；其中基座可通过螺栓固定在真空腔室上并实现真空密封，基座为焊接结构件，内含冷却水道，可对基座进行冷却；磁体套装在基座上，并可实现在基座上的滑动；进气座为焊接结构件，内含冷却水道，其通过螺栓固定在基座上，并通过绝缘套实现电位悬浮，阵列多孔板通过螺栓固定在进气座上，阵列多孔板、绝缘盖及进气座形成进气腔，可实现放电工艺气体的均匀分布，其中绝缘盖可实现放电过程中进气座的内表面的绝缘；阵列多孔板为金属放电板，其上机械加工有阵列贯穿孔，阵列贯穿孔线径较小，可在一定真空度下产生空心阴极放电；阴极环装配在阵列多孔板上，绝缘环将阵列多孔板及阴极环与基座之间实现电位悬浮；放电组件在一定真空度时会产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。
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- 本发明一种辉光放电电极，具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极，该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的和屏蔽罩其中，所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子，电极、真空引线与屏蔽罩之间均形成缝隙；所述的缝隙的间距为5～20mm，绝缘子远离电极的头部，绝缘子为纯度大于等于的Al2O3陶瓷材料。本发明的电极结构简单；具有良好的电绝缘性能和耐中子辐照性能；同时能够避免对周围系统产生寄生放电和射频干扰；无需定期维修，或延长定期维修间隔时间，满足聚变实验堆对回光放电电极的安全性和可靠性要求；该电极既适用于聚变实验堆，也适用于有特殊要求的超高真空装置的辉光放电电极。
- 具有增强的IR发射的井下源-201080065565.8
- M·T·佩勒莱特;C·M·琼斯;M·L·毛瑞斯 - 哈里伯顿能源服务公司
- 2010-06-16 - 2013-01-16 - H01J1/02
- 本发明提供具有增强的低频（例如，近红外）发射的光源。一些公开的实施例包括灯丝和至少一个再辐射器元件。灯丝将再辐射器元件加热到稳态温度，该稳态温度是灯丝绝对温度的至少四分之一。如在此公开的，由再辐射器元件提供的增加的表面积提供了来自光源的增强的IR辐射。表面的图案化或纹理化可以进一步增加再辐射器元件的表面积。阐释诸如盘、环、管等的各种形状并可以将其组合以便定制光源的谱发射分布。一些具体的实施例将灯泡上的涂层作为再辐射器元件。涂层可以被设置成遮挡来自灯丝的光或增强来自灯丝的光，这取决于具体的应用。各种再辐射器元件可设置在灯泡内或在灯泡外。
- 一种气体放电电极结构-201110319546.X
- 赵江山;刘斌;李慧;鲍洋;吴晓斌;周翊;王宇 - 中国科学院光电研究院
- 2011-10-20 - 2012-11-07 - H01J1/02
- 一种气体放电电极结构，按照气流下游侧气流出射方向相应调整改变电极下游侧的形状，使电极上下游侧为非对称形状。本发明有效改善了腔内电极附近气动流场分布，减少了电极附近放电热量积累，增强电极使用寿命，从而改善系统高压放电的稳定性，同时结构简单，便于加工，安装方便。
- 一种非对称气体放电电极结构-201120400414.5
- 赵江山;刘斌;李慧;吴晓斌;周翊;王宇 - 中国科学院光电研究院
- 2011-10-20 - 2012-07-04 - H01J1/02
- 一种非对称气体放电电极结构，按照气流下游侧气流出射方向相应调整改变电极下游侧的形状，使电极上下游侧为非对称形状。本实用新型不仅有效改善了腔内电极附近气动流场分布，减少了电极附近放电热量积累，增强电极使用寿命，从而改善系统高压放电的稳定性，同时结构简单，便于加工，安装方便。
- 用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极-201110385520.5
- 赵永蓬;徐强;王骐 - 哈尔滨工业大学
- 2011-11-28 - 2012-06-13 - H01J1/02
- 用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在极紫外光刻光源中，需要通过改变毛细管的长度的方式来实现两个主脉冲电极之间的距离的改变的问题。它包括长度可调的主脉冲电极段、预脉冲电极段和放电电极段，预脉冲电极段为圆筒形，预脉冲电极段的一端固定连接放电电极段的一端，放电电极段的另一端的端面为凹球面；主脉冲电极段的一端从预脉冲电极段的另一端插入其内部，并与预脉冲电极段电连接，主脉冲电极段的另一端露在预脉冲电极段外部，且其末端具有尖端，所述放电电极段呈柱状，放电电极段的截面半径的范围为0.2mm～3.5mm。本发明作为一种极紫外光刻光源的放电电极。
- 电极及制备电极的方法-201080027528.8
- 黑木正胜 - E·I·内穆尔杜邦公司
- 2010-07-01 - 2012-05-23 - H01J1/02
- 本发明涉及通过在空气中焙烧感光浆料而形成的低电阻的、精细的电极，所述感光浆料包含无机组分和有机组分，所述无机组分包括铜粉、硼粉和玻璃料，所述有机组分包括光聚合引发剂、单体和有机载体，其中所述铜粉的平均粒度为2.5μm或更小，并且按所述铜粉和所述硼粉的总量计，所述硼粉的含量为8-25重量％。
- 气体放电管的阴极-200820182042.1
- 周立理;周立行 - 周立理;周立行
- 2008-12-08 - 2010-01-06 - H01J1/02
- 一种气体放电管的阴极，包括设置在放电管端部内侧的放电电极和阴极头，所述阴极头包括杯型的主体，其杯底的一侧沿着所述主体的轴向有一个延伸部，所述放电电极的端部与所述延伸部的内侧相连接。根据本实用新型的气体放电管的阴极，由于在阴极头的杯体上设置了一个延伸部，从而使得阴极头与放电电极之间的连接更为紧密和可靠，不但工艺上更为方便，而且大大降低了连接电阻，减小了功耗。
- 专利分类
