[发明专利]一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法及其组件有效
申请号: | 201811345239.7 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN109531399B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 叶欣;曹建伟;傅林坚;汪辉;金光前;严顺康;洪昀;何守龙 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
主分类号: | B24B37/005 | 分类号: | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 朱莹莹 |
地址: | 310000 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明属于多晶硅块研磨加工上下料领域,具体涉及一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法及其组件。本发明通过检测与计算,可以实现对硅块高度的精确测量以及依据计算出来的硅块高度自动计算抓取和放置位置,实现硅块的自动取放。本方法以激光测距传感器作为检测元件,用机器人系统作位置计算、轨迹移动和系统控制,使用气爪完成抓取和放置动作,通过精确算法与程序设计,实现硅块的精确抓取与放置,可以连续高强度作业,减少了人工和成本,实现了硅块搬运的自动化操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 不同 高度 检测 抓取 方法 及其 组件 | ||
【主权项】:
1.一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)机器人气爪移动到硅块的正上方,垂直于硅块顶面,控制电磁阀将气爪张开,机器人示教需要抓取的硅块底面中心位置作为硅块高度零位Z0,示教放置时的硅块地面平面作为放置高度零位Z1;2)通过机器人上的激光传感器检测机器人到硅块顶面的距离,根据机器人当前位置与硅块高度零位的高度差计算硅块高度X=H‑L,其中,H为机器人当前位置与硅块高度零位的高度差,L为检测距离;3)气爪以垂直于硅块顶面中心的方向向下移动,当到达激光测距阈值,激光传感器输出开关量信号,机器人接收到开关量信号停止移动,硅块夹取上半部1/3的长度,机器人需要移动到Z0+2/3H位置;4)机器人控制电磁阀使气爪闭合,执行夹取动作,待气爪闭合磁性开关状态反馈,有反馈信号,说明气爪闭合到位,机器人可以开始搬运移动;5)硅块放置:机器人气爪携带硅块移动到放置零点Z1的正上方;6)从垂直于放置平面以直线运动方式移动到Z1+2/3H位置,此处即为放置位置;7)机器人控制电磁阀使气爪张开,执行放置动作,待气爪张开磁性开关反馈信号,有反馈信号,说明气爪张开到位,此时机器人和气爪沿步骤5)放置路线返回,至气爪高于整个硅块高度后,机器人回到原点。
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