[发明专利]一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法及其组件有效

专利信息
申请号: 201811345239.7 申请日: 2018-11-13
公开(公告)号: CN109531399B 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 叶欣;曹建伟;傅林坚;汪辉;金光前;严顺康;洪昀;何守龙 申请(专利权)人: 杭州中为光电技术有限公司
主分类号: B24B37/005 分类号: B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 朱莹莹
地址: 310000 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 多晶 不同 高度 检测 抓取 方法 及其 组件
【权利要求书】:

1.一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)机器人气爪移动到硅块的正上方,垂直于硅块顶面,控制电磁阀将气爪张开,机器人示教需要抓取的硅块底面中心位置作为硅块高度零位Z0,示教放置时的硅块地面平面作为放置高度零位Z1;

2)通过机器人上的激光传感器检测机器人到硅块顶面的距离,根据机器人当前位置与硅块高度零位的高度差计算硅块高度X=H-L,

其中,H为机器人当前位置与硅块高度零位的高度差,L为检测距离;

3)气爪以垂直于硅块顶面中心的方向向下移动,当到达激光测距阈值,激光传感器输出开关量信号,机器人接收到开关量信号停止移动,硅块夹取上半部1/3的长度,机器人需要移动到Z0+2/3H位置;

4)机器人控制电磁阀使气爪闭合,执行夹取动作,待气爪闭合磁性开关状态反馈,有反馈信号,说明气爪闭合到位,机器人可以开始搬运移动;

5)硅块放置:机器人气爪携带硅块移动到放置零点Z1的正上方;

6)从垂直于放置平面以直线运动方式移动到Z1+2/3H位置,此处即为放置位置;

7) 机器人控制电磁阀使气爪张开,执行放置动作,待气爪张开磁性开关反馈信号,有反馈信号,说明气爪张开到位,此时机器人和气爪沿步骤5)放置路线返回,至气爪高于整个硅块高度后,机器人回到原点;

其中,

所述方法适用于上下底面平整的方柱形硅棒;硅块高度计算包含以下步骤:机器人示教硅块底面平行面作为硅块高度零位,抓取时气爪从硅块的正上方往高度零位方向移动,当达到激光测距阈值时,机器人停止运动,通过当前位置与示教零位的高度差,以及激光测距距离,计算出硅块高度。

2.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,激光传感器检测精度和重复精度小于等于1mm,且输出方式为开关量输出。

3.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,气爪为V型气爪,气缸带有断气自锁功能,气爪上装有磁性接近开关,用于判断气爪打开关闭状态以及开闭是否到位。

4.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,通过二位五通电磁阀控制气爪张开和闭合。

5.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,激光传感器检测距离大于气爪手指长度与硅块最低高度之差,检测方向平行于气爪手指方向。

6.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,上料台抓取位置计算及硅块抓取包含以下步骤:由步骤2)中的硅块高度以及硅块抓取长度,可以计算出机器人需要移动到的抓取位置,机器人由当前停止位置移动到抓取位置,并执行抓取动作。

7.如权利要求1所述的一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法,其特征在于,空间放置位置计算及硅块放置包含以下步骤:示教放置平面为硅块放置零位,机器人移动到放置位置,执行放置动作。

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