[发明专利]一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法，包括以下步骤，步骤一，分色：对所产生的色差片进行分色，以目标颜色的膜厚为基准，将低于或高于该准色差片进行分类，分成低于该基准的返工片和低于该基准的降级片；步骤二，测试：对于颜色不达标的降级片通过膜厚测试，确定与基准范围的差距。该改善管式PECVD色差降级的镀膜方法极大地降低了镀膜色差的返工比例，提高了整体合格率，同时也降低了返工成本。

主权项

1.一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤，步骤一，分色：对所产生的色差片进行分色，以目标颜色的膜厚为基准，将低于或高于该准色差片进行分类，分成低于该基准的返工片和低于该基准的降级片；步骤二，测试：对于颜色不达标的降级片通过膜厚测试，确定与基准范围的差距；步骤三，调整膜厚：根据膜厚差距，在机台上将膜厚不达标的降级片重新进管式PECVD进行补镀工艺，在补镀工艺运行至等离子发射步时，根据膜厚和镀膜时间关系，调整镀膜时间来达到相差的膜厚，从而使色差降级片到达标准膜厚。