[发明专利]一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法

权利要求书

1.一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤，

步骤一，分色：对所产生的色差片进行分色，以目标颜色的膜厚为基准，将低于或高于该准色差片进行分类，分成低于该基准的返工片和低于该基准的降级片；

步骤二，测试：对于颜色不达标的降级片通过膜厚测试，确定与基准范围的差距；

步骤三，调整膜厚：根据膜厚差距，在机台上将膜厚不达标的降级片重新进管式PECVD进行补镀工艺，在补镀工艺运行至等离子发射步时，根据膜厚和镀膜时间关系，调整镀膜时间来达到相差的膜厚，从而使色差降级片到达标准膜厚。

2.根据权利要求1所述的改善管式PECVD色差降级的镀膜方法，其特征在于：补镀工艺时间根据降级膜厚与基准膜厚的差值进行计算，完成补镀工艺，达到目标颜色。