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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]扫描电子显微镜-CN201080052970.6有效
发明人：岩谷彻;高堀荣;大泷智久;波多野治彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01J37/143 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
扫描电子显微镜

[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置-CN202211659327.0在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G06V20/69 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。
基于设计版图扫描电子显微镜图像轮廓提取方法装置

[发明专利]扫描电子显微镜-CN201080031156.6有效
发明人：大泷智久;安岛雅彦;伊东佑博;大沼满;小町章 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2010-07-20 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
扫描电子显微镜

[发明专利]高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备-CN202211658956.1在审
发明人：张荣佳;韩春营 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果提取每一个扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；将每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行比对，生成比对结果；基于比对结果对每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓；对所有第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。
高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法装置设备

[实用新型]关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片-CN201822071934.0有效
发明人：陈灵 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片，用于监测关键尺寸扫描电子显微镜观测以监测关键尺寸扫描电子显微镜的缺陷状况，包括：裸晶圆；光阻条，形成于裸晶圆上表面，光阻条在关键尺寸扫描电子显微镜具有气流缺陷时发生崩塌，用户通过监测光阻条的崩塌状况来确定关键尺寸扫描电子显微镜是否有气流缺陷。本实用新型的关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片具有光阻条，通过监测关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片的崩塌与否，就可以检测关键尺寸扫描电子显微镜的气流缺陷，还可以实现对关键尺寸扫描电子显微镜的颗粒缺陷的监测
扫描电子显微镜缺陷监测崩塌光阻监测裸晶扫描电子显微镜观测本实用新型颗粒缺陷缺陷状况监测光上表面检测

[实用新型]一种电动显微镜系统-CN202223103596.7有效
发明人：董必勤;蒋海娃;康子琛;杨杰 -专利权人：莅时智能科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电动显微镜系统，属于电子显微镜领域，包括电子显微镜、显微镜架、扫描平台和控制装置，还包括滴油装置，电子显微镜设置在显微镜架上，显微镜架内部具有Z轴电机，带动电子显微镜垂直方向运动，电子显微镜的下方设置有扫描平台，扫描平台底部具有X轴电机和Y轴电机，带动扫描平台水平方向运动，电子显微镜、Z轴电机、X轴电机和Y轴电机分别与控制装置电连接。具有扫描快速、节省人力、准确率高的特点。
一种电动显微镜系统

[发明专利]扫描电子显微镜-CN202180022962.5在审
发明人：齐藤尚也;久保田大辅 -专利权人：塔斯米特株式会社
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。
扫描电子显微镜

[发明专利]对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质-CN202211397566.3在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该对准方法，包括：采集待检测区域的扫描电子显微镜图像；提取扫描电子显微镜图像的扫描电子显微镜图像轮廓；将扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准
对准方法装置电子设备计算机可读存储介质

[发明专利]使用扫描电子显微镜的检查系统-CN201310205662.8有效
发明人：朴英吉;白原奉;吴基元 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：一种使用扫描电子显微镜的检查系统包括扫描电子显微镜室，该扫描电子显微镜室通过使用电子束检查待检查物体并维持真空条件；位于所述扫描电子显微镜室下方以与所述扫描电子显微镜室分离并安装有待检查物体的台架；以及用于在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部在所述扫描电子显微镜室与待检查物体之间维持大气条件。相应地，待检查物体，尤其是大尺寸的待检查物体可被检查，而不会损坏待检查物体，从而可实现费用的减少和产量的提高。
使用扫描电子显微镜检查系统

[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置-CN202211060150.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，分别与待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于对准结果，分别将第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，与待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据差异信息和配方文件，判断第一扫描电子显微镜图像与设计版图之间的第一差异是否为缺陷。
基于设计版图扫描电子显微镜图像缺陷检测方法装置

[发明专利]扫描电子显微镜-CN202110223041.7在审
发明人： K.D.范德马斯特;A.F.J.汉曼;W.H.C.瑟乌斯;S.R.M.斯多科斯 -专利权人： FEI公司
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。
扫描电子显微镜

[发明专利]扫描电子显微镜-CN201780027480.2有效
发明人： K.D.范德马斯特;A.F.J.汉曼;W.H.C.瑟乌斯;S.R.M.斯多科斯 -专利权人：飞纳世界控股有限公司
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。
扫描电子显微镜

[发明专利]扫描电子显微镜-CN202211477788.6在审
发明人：阴达;张伟;尹朋飞;卢志钢 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01J37/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率
扫描电子显微镜

[实用新型]扫描电子显微镜-CN202223123539.5有效
发明人：阴达;张伟;尹朋飞;卢志钢 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台用于承载样品以使样品与电子束作用。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率
扫描电子显微镜

[实用新型]扫描电子显微镜-CN202223123645.3有效
发明人：阴达;张伟;尹朋飞;卢志钢 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、样品台和物镜。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位；负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管包括间隔设置的第一电压管和第二电压管，第一电压管和第二电压管之间形成电势差以对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。第一电压管和阴极之间形成较大的电场，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，进而提升扫描电子显微镜的分辨率。
扫描电子显微镜

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