[发明专利]一种草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备的清洗工艺在审
| 申请号： | 201811298245.1 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109234072A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;邵勇;陈林;承明忠;李涛;殷福华;赵文虎;朱龙 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/06 | 分类号： | C11D7/06;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/12;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;B08B3/08 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种草酸铟溶解剂组合物，主要组分包含碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，草酸铟溶解剂组合物的pH值为8～12；碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成。本发明草酸铟溶解剂组合物优化了碱性组分的选择范围，碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成，减少了草酸铟溶解剂中强碱的使用量，组合物更趋温和，蚀刻设备的清洗更环保安全。 | ||
| 搜索关键词： | 溶解剂组合物 强碱弱酸盐 电离 草酸铟 蚀刻设备 季铵碱 酸铟 种草 环保安全 清洗工艺 溶解剂 中强碱 螯合剂 清洗 优化 | ||
【主权项】：
1.一种草酸铟溶解剂组合物，其特征在于，主要组分包含碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，草酸铟溶解剂组合物的pH值为8～12；碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成。
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- 2003-05-27 - 2011-05-18 - C11D7/06
- 适用于清洁具有二氧化硅、低κ或高κ电介质和铜或铝金属化的微电子结构的清洁组合物包含氧化剂和选自酰胺、砜、环丁烯砜、硒代砜和饱和醇的极性有机溶剂，及任选的其它组分。
- 模具清洗剂组合物及模具清洗材料、以及使用其的模具清洁方法-201010233007.X
- 高岛浩一;藤卷要;冈让二 - 日东电工株式会社
- 2010-07-16 - 2011-01-26 - C11D7/06
- 本发明涉及模具清洗剂组合物，其为使用成型材料进行反复成型的加热成型用模具的清洗剂组合物，其中含有：作为母材的合成橡胶和/或合成树脂，碱金属盐和/或碱金属氢氧化物，和水和/或有机溶剂。
- 专利分类
