[发明专利]精细金属掩膜版张网的对位控制方法有效
| 申请号： | 201811295563.2 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109402558B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 顾骏 | 申请（专利权）人： | 上海精骊电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;B23K31/02;B23K37/00;B23K37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法，所述对位控制方法包括通过从对位系统中获取的信息来控制对位系统中的夹爪对精细金属掩模版施加的拉力大小，将精细金属掩膜板中的测量点位拉伸至目标位置，以控制张网的方法。所述对位系统包括，拉伸精细金属掩膜板进行张网操作的夹爪，获取夹爪拉力信息的力传感器，以及用来获取测量点位坐标信息的CCD镜头。 | ||
| 搜索关键词： | 精细 金属 掩膜版张网 对位 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法，其特征在于，对精细金属掩膜板夹爪夹持部位施加一组试验拉力，测量对应的各测量点位的一组试验坐标信息，根据多组试验拉力和多组测量点位的试验坐标信息来设定最终需要的精细金属掩膜板夹爪夹持部位的最终拉力的大小，以调整精细金属掩膜板上各测量点位的最终坐标。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海精骊电子技术有限公司，未经上海精骊电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811295563.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
