[发明专利]精细金属掩膜版张网的对位控制方法

权利要求书

1.一种用于对精细金属掩膜版进行张网的对位控制方法，其特征在于，

对精细金属掩膜版夹爪夹持部位施加一组试验拉力，测量对应的各测量点位的一组试验坐标信息，多次改变所述试验拉力的大小，获得多组所述试验拉力及其对应的测量点位的多组试验坐标信息，根据多组试验拉力和多组测量点位的试验坐标信息来设定最终需要的精细金属掩膜版夹爪夹持部位的最终拉力的大小，以调整精细金属掩膜版上各测量点位的最终坐标，具体包括：

根据所述多组试验坐标信息，获取所述多组试验坐标关于目标点位坐标的多个标准差，并将标准差最小的测量点位坐标所对应的试验拉力作为实际拉力；

通过反复迭代，多次对所述金属掩膜版施加不同的实际拉力，使得测量点位实际坐标多次逼近目标点位坐标，获得测量点位最终坐标，每个测量点位最终坐标和目标点位坐标的差都在设定的坐标精度之内。

2.如权利要求1中所述的对位控制方法，其特征在于，各测量点位坐标信息由CCD镜头获取，各夹爪力信息由力传感器获取。

3.如权利要求2所述的对位控制方法，其特征在于，包括以下操作：

操作一：获取张网机夹爪夹持的夹爪夹持部位个数2N，即N对夹爪数目，将2N个夹爪分为N_A个A组夹爪和N_B个B组夹爪，令j = N_B, ΔF₀ = 0；

操作二：设置P个测量点位，获取各点位的目标坐标(X₁, Y₁)，(X₂, Y₂), (X₃, Y₃)……，(X_P,Y_P)；

操作三：记录当前各测量点位的坐标(X_1,0, Y_1,0)，(X_2,0, Y_2,0), (X_3,0, Y_3,0)……，(X_P,0,Y_P,0) ；

操作四：计算当前测量点位关于目标点位的标准差S₀；

操作五：令i = 1；

操作六：从B组选取j个夹爪保持自由，固定A组所有夹爪以及B组剩余的所有夹爪；

操作七：对B组j个夹爪施加测试用的试验拉力，令各夹爪所受拉力的变化量ΔF_1B =ΔF_2B =ΔF_3B =……=ΔF_jB =ΔF_i；

操作八：记录各测量点位的坐标 (X_1,i, Y_1,i)，(X_2,i, Y_2,i), (X_3,i, Y_3,i)……，(X_P,i,Y_P,i)；

操作九：计算当前测量点位关于目标点位的标准差S_i；

操作十：令i = i + 1；

操作十一：重复操作六到十共M次；

操作十二：比较所有标准差 (S₀, S₁, S₂ ……，S_M) 的大小，选出最小的一个标准差S_m，B组夹爪力的实际拉力变化量即设定为ΔF_m；

操作十三：交换A组夹爪与B组夹爪，交换夹爪数N_A与N_B，重复一次操作二到十二，即，如果一开始设定左侧是A组，右侧是B组，则本操作中改为左侧是B组，右侧是A组；

操作十四：对在N_B个夹爪中任意选取j个夹爪做组合，上述组合之前未选择过，重复操作二到十三次；

操作十五：重复操作二到十四，直到所有测量点位达到第j号目标精度，或重复次数超出预设次数；

操作十六：令j = j − 1；

操作十七：重复操作二到十六N_B次。