[发明专利]精细金属掩膜版张网的对位控制方法

说明书

本发明提供一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法，所述对位控制方法包括通过从对位系统中获取的信息来控制对位系统中的夹爪对精细金属掩模版施加的拉力大小，将精细金属掩膜板中的测量点位拉伸至目标位置，以控制张网的方法。所述对位系统包括，拉伸精细金属掩膜板进行张网操作的夹爪，获取夹爪拉力信息的力传感器，以及用来获取测量点位坐标信息的CCD镜头。

技术领域

本发明涉及一种对位控制方法，特别涉及一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法。

背景技术

有机发光二极管（Organic Light Emitting Diode，缩写：OLED)显示屏是一种新型显示屏，和传统的液晶显示面板相比，OLED显示屏具有自发光、功耗低、色域广、可用于柔性显示等优点，市场前景广阔。

OLED显示屏的制备工艺中需要使用高精度的精细金属掩膜版（Fine Metal Mask，缩写：FMM）遮挡住待蒸镀的玻璃基板，使得被蒸发成气态的有机发光材料在玻璃基板上形成需要的像素图案。现有工艺通常使用张网机将多张条状的 FMM 焊接到金属掩膜板框架上，这种工艺也被称为张网工艺。为了保证各发光层最后能够被蒸镀在玻璃基板特定的位置上，张网过程中需要对 FMM 施加一定的拉力使得 FMM 的每一个像素孔 (pixel) 都对到正确的位置，这一个过程是张网的对位过程，控制张网对位过程的系统包括张网的对位控制方法和对应的软件及硬件设备。

本发明提供一种对高精度的精细金属掩膜版（FMM）进行张网的对位控制方法。该控制方法可以增加 FMM 的张网对位精度，减少张网行程所需的时间, 提高张网成功率。

发明内容

本发明提供一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法，所述对位控制方法包含对精细金属掩膜板夹爪夹持部位施加一组试验拉力，测量对应的各测量点位的一组试验坐标信息，根据多组试验拉力和多组测量点位的试验坐标信息来设定最终需要的精细金属掩膜板夹爪夹持部位的最终拉力的大小，以调整精细金属掩膜板上各测量点位的最终坐标。

所述对位控制方法对精细金属掩膜板夹爪夹持部位施加多组试验拉力，获得多组测量点位的试验坐标信息，并根据所述多组坐标信息和目标点位坐标获得多个标准差，并将标准差最小的测量点位坐标所对应的试验拉力作为实际拉力。

所述对位控制方法多次对金属掩膜版施加不同的实际拉力，使得测量点位实际坐标多次逼近目标点位坐标，获得测量点位最终坐标，每个测量点位最终坐标和目标点位坐标的差都在设定的坐标精度之内。

所述的对位控制方法的各测量点位坐标信息由CCD镜头获取，各夹爪力信息由力传感器获取。

所述测量点位分别有对应的目标位置，计算所有所述测量点位的坐标信息与所述测量点位的目标位置坐标信息的标准差，所述标准差S₀的公式为：

，

其中 P 为所述测量点位个数，(X_p,0, Y_p,0)为第 p 个测量点位的坐标信息，(X_p,Y_p) 为所述测量点位的目标位置坐标信息。