[发明专利]研磨装置、研磨系统、基板处理装置、研磨方法以及存储器

摘要

本发明提供一种减少电流传感器的计量结果在多个研磨装置间的差异的研磨装置、研磨系统、基板处理装置以及研磨方法。电流检测部检测摆动轴马达(14)的电流值而生成第一输出。第一处理部使用表示由顶环施加于半导体晶片的面压与第一输出之间的对应关系的第一数据，根据第一输出求出与第一输出相对应的面压。第二处理部使用表示由第一处理部获得的面压与第二输出之间的对应关系的第二数据，而求出与由第一处理部获得的面压相对应的第二输出。

主权项

1.一种研磨装置，用于在研磨垫与被研磨物之间进行研磨，所述被研磨物与所述研磨垫相对地配置，该研磨装置的特征在于，具有：研磨台，该研磨台能够保持所述研磨垫；第一电动马达，该第一电动马达能够旋转驱动所述研磨台；保持部，该保持部保持所述被研磨物，并且能够向所述研磨垫按压所述被研磨物；第二电动马达，该第二电动马达能够旋转驱动所述保持部；摆动臂，该摆动臂保持所述保持部；第三电动马达，该第三电动马达能够使所述摆动臂绕所述摆动臂上的摆动中心摆动；检测部，该检测部能够检测所述第一电动马达、所述第二电动马达、以及所述第三电动马达中的一个电动马达的电流值、所述一个电动马达的扭矩指令值、所述一个电动马达的位置指令、和/或所述一个电动马达的速度指令，并生成第一输出；第一处理部，该第一处理部能够使用表示由所述保持部施加于所述被研磨物的面压与所述第一输出之间的对应关系的第一数据，根据所述第一输出来求出与所述第一输出相对应的面压；以及第二处理部，该第二处理部能够使用表示由所述第一处理部获得的所述面压与第二输出之间的对应关系的第二数据，来求出与由所述第一处理部获得的所述面压相对应的第二输出。