[发明专利]一种无需粘结籽晶的碳化硅单晶生长装置在审
| 申请号： | 201811282839.3 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109234810A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种无需粘结籽晶的碳化硅单晶生长装置，包括籽晶盒和坩埚；坩埚内部设置有架层；架层用于放置籽晶盒；籽晶盒采用圆柱形状；籽晶盒的顶部设有环形结构的盖子；籽晶盒侧壁上设有均匀排布的拱门形的小孔；籽晶盒底部设有大圆孔；籽晶盒底部连接有裙带。本发明无需粘结籽晶的碳化硅单晶生长装置能应用于4寸、6寸，甚者更大尺寸的晶体生长，大幅度降低晶体中的平面六角缺陷，得到了高质量的碳化硅单晶晶体；可以减少在取拿晶体过程中，人员身体受伤和因操作不当而导致晶体受损的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 碳化硅单晶 生长装置 粘结 架层 坩埚 碳化硅单晶晶体 底部连接 环形结构 晶体过程 晶体生长 均匀排布 内部设置 人员身体 圆柱形状 大圆孔 拱门形 盒侧壁 盖子 六角 小孔 受损 受伤 应用 | ||
【主权项】：
1.一种无需粘结籽晶的碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述无需粘结籽晶的碳化硅单晶生长装置包括籽晶盒(1)和坩埚(2)；所述坩埚(2)内部设置有架层(8)；所述架层(8)用于放置籽晶盒(1)；所述籽晶盒(1)采用圆柱形状；所述籽晶盒(1)的顶部设有环形结构的盖子(4)；所述籽晶盒(1)侧壁上设有均匀排布的拱门形的小孔(5)；所述籽晶盒(1)底部设有大圆孔(9)；所述籽晶盒(1)底部连接有裙带(6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建北电新材料科技有限公司，未经福建北电新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811282839.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
