[发明专利]一种半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法有效
| 申请号： | 201811256899.8 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN110554004B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄善伍 | 申请（专利权）人： | 考姆爱斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 孙营营 |
| 地址： | 韩国忠清北道清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法。监视装置包括：发光装置、偏光片、相位延迟器、PCB基板、受光装置和控制部，发光装置、偏光片、相位延迟器正向依次配置，透过偏光片的光线偏光透过相位延迟器而投射到检查对象PCB基板，PCB基板位于相位延迟器的前方，对入射的圆偏光或椭圆偏光光线进行反射，PCB基板反射后逆向行进的反射光重新依次经过相位延迟器和偏光片，位于偏光片后方的受光装置对反射光进行聚光并变换成电信号，控制部判断在PCB基板表面是否附着有膜。它能够解决以往目视或利用无偏光影像分析的确认膜剥离与否的问题，准确而迅速地自动判断膜的剥离与否或膜一部分是否残余。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 基板用 保护膜 剥离 与否 监视 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体基板用保护膜剥离与否监视装置，其特征在于，包括：/n发光装置(10)、偏光片(20)、相位延迟器(30)、PCB基板(T)、受光装置(450)和控制部(60)，/n所述发光装置(10)、偏光片(20)、相位延迟器(30)正向依次配置，透过偏光片的光线偏光透过相位延迟器而投射到检查对象PCB基板(T)，/nPCB基板(T)位于相位延迟器的前方，对入射的圆偏光或椭圆偏光光线进行反射，/nPCB基板反射后逆向行进的反射光重新依次经过相位延迟器和偏光片，位于偏光片(20)后方的受光装置(450)对反射光进行聚光并变换成电信号，/n控制部(60)利用受光装置(450)生成的与光线强度相关的电信号，判断在PCB基板(T)表面是否附着有膜。/n
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