[发明专利]气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质

摘要

本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。

主权项

1.一种气化系统，其包括：气化器，使液体材料气化；供给量控制设备，对朝向所述气化器供给的液体材料的供给量进行控制；流量调整阀，调整由所述气化器生成的气化气体的流量；流量传感器，测定所述气化气体的流量；阀控制部，向所述流量调整阀输出驱动信号来控制阀开度，以使由所述流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量，所述气化系统的特征在于，还包括：驱动信号值取得部，取得作为所述驱动信号所表示的值的驱动信号值；以及供给控制部，基于所述驱动信号值向所述供给量控制设备输出控制信号，控制所述液体材料的供给。