[发明专利]基板处理装置在审
| 申请号： | 201811189975.8 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109719615A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技;林钟逸 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/015;B24B37/013;B24B37/005;B24B53/017;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置，其包括：研磨垫，用于研磨基板的研磨层；承载头，用于将基板压靠在研磨垫上；控制部，基于由温度测量部测量的温度信息，控制基板的研磨结束时间点。 | ||
| 搜索关键词： | 基板处理装置 研磨垫 结束时间点 温度测量部 控制基板 温度信息 研磨基板 研磨 承载头 基板压 研磨层 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其中，包括：研磨垫，用于研磨基板的研磨层；承载头，用于将所述基板压靠在所述研磨垫上；温度测量部，配置于从所述基板下部排出到所述基板外侧的使用后的浆料的排出区域，在所述排出区域的多个位置上测量所述研磨垫的温度信息；控制部，基于由所述温度测量部测量的所述温度信息，控制所述基板的研磨结束时间点。
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