[发明专利]一种导电可透光钙钛矿量子点薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201811162106.6 申请日: 2018-09-30
公开(公告)号: CN109301093A 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 汤勇;李宗涛;贾明泽;丁鑫锐;颜才满;余彬海 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/50
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍;江裕强
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种导电可透光钙钛矿量子点薄膜的制备方法,包括步骤:带有表面阵列微结构母模板的制备;空穴传输层的制备及涂覆;量子点反应溶液的制备及涂覆;量子点薄膜的压印成型;电子传输层的制备及涂覆;量子点薄膜的表面蒸镀处理;量子点薄膜的表面磨削处理;本发明的一种导电可透光钙钛矿量子点薄膜的制备方法采用压印成型和蒸镀金属等表面处理,实现了导电薄膜的制备,采用表面磨削,实现了薄膜的透光性能;本发明制备的薄膜可透光导电,制备的方法效率高、精度准确,制造成本低,适合大规模生产。
搜索关键词: 制备 薄膜 量子点 可透光 导电 钙钛矿 涂覆 表面磨削 压印成型 蒸镀 电子传输层 空穴传输层 表面阵列 导电薄膜 反应溶液 透光性能 制造成本 母模板 微结构 金属
【主权项】:
1.一种导电可透光钙钛矿量子点薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、带有表面阵列微结构母模板的制备:利用光刻工艺和等离子体刻蚀工艺在单晶硅表面加工出微结构,作为表面压印的母模板;步骤2、空穴传输层的制备及涂覆:采用PEDOT和PSS水溶液混合物用作空穴传输层,将PEDOT和PSS水溶液用针筒加过滤头过滤,再加入适量的异丙酮调节适合涂覆粘度,离心搅拌后将制备好的混合溶液涂覆在导电玻璃上,得到空穴传输层;步骤3、量子点反应溶液的制备及涂覆:配制量子点材料前躯体溶液并加入高分子材料PMMA使其充分混合,搅拌均匀,真空脱泡后涂覆在空穴传输层上,得到量子点层;步骤4、量子点薄膜的压印成型:在量子点层上涂覆一层PMMA胶体,用表面压印母模板进行表面压印成型并固化得到带有表面阵列微结构的量子点层;步骤5、电子传输层的制备及涂覆:将TiO2等电子传输层材料溶解在乙醇胺(EA)中,将制备好的电子传输层溶液旋涂在量子点层上,得到电子传输层;步骤6、量子点薄膜的表面蒸镀处理:在带有表面阵列微结构的量子点层上真空蒸镀一层导电金属,使其覆盖在电子传输层上,得到可导电钙钛矿量子点薄膜;步骤7、量子点薄膜的表面磨削处理:采用表面磨削技术将量子点层微结构阵列中凸出结构部分去除,得到导电可透光钙钛矿量子点薄膜。
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