[发明专利]可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器及其制备方法在审
申请号: | 201811151909.1 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109524423A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 徐云;张林奥;吕龙锋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;H01L31/0224;H01L31/105;H01L31/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器,包括:聚合物基底,探测器单元阵列,以及用于连接探测器单元阵列中的探测器单元的石墨烯互联电极;所述探测器的制备方法包括:步骤A:生长外延片;步骤B:用步骤A所生长的外延片制备出台面型探测器单元;步骤C:在步骤B所制备的探测器表面旋涂柔性聚合物材料;步骤D:在步骤C完成后的探测器表面用石墨烯旋涂并图形化,制成石墨烯互联电极;步骤E:在步骤D完成后的探测器表面旋涂未固化的柔性聚合物材料;步骤F:预记忆探测器的聚合物基底的立体形状;以及步骤G:将步骤E完成的探测器粘连在步骤F所完成预记忆的探测器的聚合物基底上,完成所述探测器的制备。 | ||
搜索关键词: | 探测器 制备 探测器表面 聚合物基 石墨烯 旋涂 柔性聚合物材料 近红外探测器 探测器单元 可见光 互联电极 形变 外延片 伪装 探测器单元阵列 连接探测器 单元阵列 立体形状 智能 生长 图形化 未固化 粘连 面型 | ||
【主权项】:
1.一种可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器,包括:聚合物基底(10),形状记忆聚合物制成;探测器单元阵列,由多个探测器单元(20)按阵列排布而成,设置于所述聚合物基底(10)上;以及石墨烯互联电极(30),石墨烯互联导线制成,用于连接所述探测器单元阵列中的探测器单元(20)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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