[发明专利]可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201811151909.1 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN109524423A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 徐云;张林奥;吕龙锋 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L27/144 分类号: H01L27/144;H01L31/0224;H01L31/105;H01L31/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李坤
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器,包括:聚合物基底,探测器单元阵列,以及用于连接探测器单元阵列中的探测器单元的石墨烯互联电极;所述探测器的制备方法包括:步骤A:生长外延片;步骤B:用步骤A所生长的外延片制备出台面型探测器单元;步骤C:在步骤B所制备的探测器表面旋涂柔性聚合物材料;步骤D:在步骤C完成后的探测器表面用石墨烯旋涂并图形化,制成石墨烯互联电极;步骤E:在步骤D完成后的探测器表面旋涂未固化的柔性聚合物材料;步骤F:预记忆探测器的聚合物基底的立体形状;以及步骤G:将步骤E完成的探测器粘连在步骤F所完成预记忆的探测器的聚合物基底上,完成所述探测器的制备。
搜索关键词: 探测器 制备 探测器表面 聚合物基 石墨烯 旋涂 柔性聚合物材料 近红外探测器 探测器单元 可见光 互联电极 形变 外延片 伪装 探测器单元阵列 连接探测器 单元阵列 立体形状 智能 生长 图形化 未固化 粘连 面型
【主权项】:
1.一种可伪装可形变的智能可见光至近红外探测器,包括:聚合物基底(10),形状记忆聚合物制成;探测器单元阵列,由多个探测器单元(20)按阵列排布而成,设置于所述聚合物基底(10)上;以及石墨烯互联电极(30),石墨烯互联导线制成,用于连接所述探测器单元阵列中的探测器单元(20)。
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