[发明专利]一种化学气相沉积铼层的装置及方法

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积铼层的装置及方法，属于航天器轨/姿控发动机推力室制备技术领域，特别涉及一种高效绿色环保沉积金属铼层的化学气相沉积装置，主要用于铼铱发动机推力室的制备。本发明通过引入前躯体再生室和冷凝收集室，既有效的利用了反应尾气，又大幅提高了前躯体的利用率，降低了铼层的沉积成本。本发明通过引入尾气处理装置，使得反应尾气通过水洗的方式得到彻底处理，处理后的尾气符合排放标准，实现了沉积过程的绿色环保。

主权项

1.一种化学气相沉积铼层的装置，其特征在于：该装置包括载气气瓶、前躯体瓶、反应室、进气管、出气管、前躯体再生室、冷凝收集室、过滤器、真空泵、电机和尾气处理装置；所述的载气气瓶内存储有载气气体；所述的前躯体瓶用于储存五氯化铼，前躯体瓶放置在电阻炉中，通过电阻通电给前躯体瓶进行加热；所述的反应室的材料为石英，反应室外壁上环绕有感应线圈，通过感应加热对反应室内的待沉积工件进行加热；所述的进气管为石英材质，且侧壁轴向上有一狭缝；所述的出气管为石英材质，且侧壁轴向上有一狭缝；所述的进气管和出气管安装在反应室内；载气气瓶与前躯体瓶通过第一管路连接，在第一管路上安装有第一阀门和质量流量计；前躯体瓶与安装在反应室内的进气管通过第二管路连接，在第二管路外面缠绕有加热带，用于对第二管路进行加热，且第二管路上还安装有第二阀门；安装在反应室内的出气管通过第三管路与前躯体再生室连接，前躯体再生室放置在电阻炉中，通过电阻通电给前躯体再生室进行加热；第三管路外面缠绕有加热带，用于对第三管路进行加热；前躯体再生室与冷凝收集室通过第四管路连接；第四管路外面缠绕有加热带，用于对第四管路进行加热；冷凝收集室与过滤器通过第五管路连接，在第五管路上安装有真空计；冷凝收集室通过第六管路与真空泵连接，在第六管路上安装有第三阀门；过滤器通过第七管路与真空泵连接，在第七管路上安装有蝶阀和第四阀门；真空泵通过第八管路与尾气处理装置连接。