[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201811089999.6 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109525928B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | A·德厄;U·克鲁宾;G·梅茨格-布吕克尔;J·斯特拉塞;J·瓦格纳;A·沃瑟 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处，并且设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括：声音检测单元，所述声音检测单元具有：第一膜，与所述第一膜间隔布置的第二膜，布置在所述第一膜和所述第二膜之间的低压区域，在所述低压区域中存在与常压相比较小的气压，布置在所述低压区域中的反电极，和声通孔，所述声通孔在所述声音检测单元的厚度方向上延伸通过所述声音检测单元；和被提供在所述声通孔处的阀，所述阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。
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