[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括：

声音检测单元，所述声音检测单元具有：

第一膜，

与所述第一膜间隔布置的第二膜，

布置在所述第一膜和所述第二膜之间的低压区域，在所述低压区域中存在与常压相比较小的气压，

布置在所述低压区域中的反电极，和

声通孔，所述声通孔在所述声音检测单元的厚度方向上延伸通过所述声音检测单元；

被提供在所述声通孔处的阀，所述阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度，其中所述阀具有相对于所述声通孔能够位移的一个或多个活瓣，所述活瓣相对于所述声通孔的位置限定所述多个阀状态中的一个阀状态；和

被提供在所述声通孔中的并且整个周边固定的一个或多个孔板，所述孔板具有一个或多个板通孔，其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的至少一个活瓣能够与所述一个或多个孔板中的至少一个孔板物理接触。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，

其中，所述阀被设置成与所述声通孔处的声压相关地取所述多个阀状态中的一个阀状态。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，

其中，所述阀被设置成与所述声通孔处的声压无关地设定成所述多个阀状态中的一个阀状态。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，

其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的一个活瓣被提供在所述第一膜处。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS麦克风，

其中，所述第一膜是由导电材料形成的。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，

其中，所述第一膜具有彼此电绝缘的多个膜区段。

7.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，

其中，所述第一膜具有彼此电绝缘的多个膜区段，

其中，所述阀的被提供在所述第一膜处的活瓣与所述第一膜的多个膜区段中的一个膜区段电连接。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS麦克风，

其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的一个活瓣被提供在所述第二膜处。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS麦克风，

其中，所述第二膜是由导电材料形成的。

10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，

其中，所述第二膜具有彼此电绝缘的多个膜区段。

11.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，

其中，所述第二膜具有彼此电绝缘的多个膜区段，

其中，所述阀的被提供在所述第二膜处的活瓣与所述第二膜的多个膜区段中的一个膜区段电连接。

12.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS麦克风，

其中，在所述声通孔中的所述阀的所述一个或多个活瓣中的一个活瓣在所述声音检测单元的厚度方向上被布置在所述第一膜的主延伸平面和所述第二膜的主延伸平面之间。

13.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS麦克风，

其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的至少一个活瓣具有一个或多个活瓣通孔。

14.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，

其中，所述一个或多个孔板中的一个孔板被提供在所述第一膜处。

15.根据权利要求1或14所述的MEMS麦克风，

其中，所述一个或多个孔板中的一个孔板被提供在所述第二膜处。