[发明专利]MEMS麦克风

说明书

本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处，并且设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。

技术领域

大量实施方式总体上涉及MEMS麦克风。

背景技术

MEMS麦克风在当今的通信技术中发挥着核心作用。这些MEMS麦克风通常具有可以通过待检测的声音发生位移的膜，膜的位移可以通过合适的读取电路来测量。对于灵敏的声音检测，可能需要膜具有非常小的厚度。然而，由于小的膜厚度，膜可能对机械负载敏感地做出反应。这种机械负载尤其可以通过高强度的声波、即通过高声压引起。

发明内容

根据各种实施方式，提供一种微机电式的麦克风，其可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被提供在声通孔处，该阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于声通孔对于声音的一个预设透射度。

附图说明

在下文中，将参考附图更详细地解释许多示例性实施方式。在此是：

图1示出了示例性MEMS麦克风的示意图，

图2至图12示出了示例性MEMS麦克风的示例性声音检测单元的示意性剖视图，

图13示出了示例性声音检测单元的俯视图，并且

图14示出了另一示例性声音检测单元的俯视图。

具体实施方式

术语“示例性”在本文中用于表示“作为示例、作为例子或用于说明”。每个在这里被说明作为“示例”的实施方式或者构造方案不一定被解释为相对于其它的实施方式或者构造方案是优选的或有利的。

在本申请中，“平坦”表示构件的几何形状，构件沿第一空间方向和与第一空间方向正交的第二空间方向具有延伸，该延伸相比于沿着与第一和第二空间方向正交的第三空间方向的延伸大了一个以上的量级，可选地大了两个以上的量级，进一步可选地大了三个以上的量级。第三空间方向也可以称为构件的厚度方向。

导电材料在本申请中可以是具有导电率大于10S/m、例如大于10²S/m或者大于10⁴S/m或者甚至大于10⁶S/m的材料。电绝缘材料可以是具有导电率小于10^-2S/m、例如小于10^-5S/m或者甚至小于10^-8S/m的材料。

在附图中，相同的附图标记在不同的视图中指代相同的部分。附图用于简单说明本发明的主要原理，因此不一定是按比例的。