[发明专利]一种晶圆流片生产用光刻辅助装置

摘要

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其可增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且增强焊接过程中对工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、底座、焊枪和支撑架，焊枪放置在工作台顶端右侧；还包括四组支撑件，支撑件包括第一螺纹管、第一螺纹杆、第一滚珠轴承和支撑板，第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接；还包括四组固定件；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板，支撑架位于两组调节件之间，透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。

主权项

1.一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，包括工作台（1）、底座（2）、焊枪（3）和支撑架，工作台设置在底座顶端，支撑架设置在工作台顶端前侧，焊枪放置在工作台顶端右侧；其特征在于，还包括四组支撑件，所述支撑件包括第一螺纹管（4）、第一螺纹杆（5）、第一滚珠轴承（6）和支撑板（7），工作台顶端前侧设置有第一安装槽，第一滚珠轴承设置在第一安装槽内，所述第一螺纹管底端插入至第一滚珠轴承内部，第一螺纹杆底端插入并螺装在第一螺纹管顶端内部，且第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接，所述四组支撑件分别设置在支撑板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑件底端均与工作台顶端连接；还包括四组固定件，所述四组固定件分别设置在支撑板顶端左侧、右侧、前侧和后侧上；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板（8），所述两组调节件均设置在工作台顶端前半区域上，且支撑架位于两组调节件之间，两组连接件分别设置在两组调节件顶端，所述透明防护板位于支撑板正上方，且透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。