[发明专利]检查装置以及检查方法在审
| 申请号： | 201811034810.3 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109470723A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 加集功士;四宫由隆;屋铺大三郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及检查装置以及检查方法。能高精度且高速地进行对象物的检查。具有电磁波接收区域的传感器在圆形外形面的俯视观察下越是远离中心的位置越适合移动快的被摄体的拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 检查装置 电磁波接收 俯视观察 圆形外形 检查 被摄体 对象物 传感器 拍摄 移动 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，上述检查装置的特征在于，关于被提供用于检查的状态的上述对象物而具备：对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
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