[发明专利]检查装置以及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，

上述检查装置的特征在于，

关于被提供用于检查的状态的上述对象物而具备：

对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和

具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，

上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，

上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，

上述检查装置通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。

4.根据权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

上述检查装置具备与上述多个小区域的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，

上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个小区域当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，

上述检查装置具备与上述多个图像取得单位的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，

上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个图像取得单位当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。

6.一种检查方法，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，

上述检查方法的特征在于，

关于被提供用于检查的状态的上述对象物而包含如下步骤：

对上述圆形外形面照射电磁波；和

由图像取得部中所包含的电磁波接收区域接受透过上述对象物的上述电磁波，

上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。

7.根据权利要求6所述的检查方法，其特征在于，

上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，

上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。

8.根据权利要求7所述的检查方法，其特征在于，

上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，

在上述检查方法中通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。

9.根据权利要求7或8所述的检查方法，其特征在于，

分别对上述多个小区域从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的检查方法，其特征在于，

上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，

分别对上述多个图像取得单位从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。