[发明专利]检查装置以及检查方法

说明书

本发明涉及检查装置以及检查方法。能高精度且高速地进行对象物的检查。具有电磁波接收区域的传感器在圆形外形面的俯视观察下越是远离中心的位置越适合移动快的被摄体的拍摄。

技术领域

本发明涉及检查装置以及检查方法。

背景技术

锂离子二次电池等非水电解液二次电池作为个人计算机、便携电话、便携信息终端等中所用的电池而被广泛使用。特别是，锂离子二次电池与从前的二次电池比较削减了CO₂的排出量，作为贡献于节能的电池而受到关注。

过去，推进了非水电解液二次电池用隔板对芯体卷绕而成的隔板卷绕体的开发。还一起研讨了检测附着于隔板卷绕体的异物的检查。

作为检测附着于对象物的异物的检查的一例而能举出专利文献1公开的技术。在专利文献1公开的技术中，将从X射线源出射的X射线用毛细管透镜变换成平行X射线，将该平行X射线对作为对象物的样本照射，用TDI(Time Delay Integration，时间延迟积分)传感器接受透过该样本的平行X射线。在TDI传感器中例如利用专利文献2公开那样的技术。

然而，作为检测外形有圆形的面(隔板卷绕体的情况下是侧面)的对象物上附着的异物的检查，考虑下述的检查方法。另外，以下也将对象物中的外形为圆形的面称作圆形外形面。

即，以穿过构成圆形外形面的外形的圆形的中心在与圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴使对象物旋转。然后对圆形外形面照射电磁波。然后用传感器接受透过圆形外形面的电磁波。然后对通过传感器接受电磁波而得到的图像进行解析，对对象物检查是否附着异物。由此，由于能针对专利文献1公开的技术使异物的检测高效率化，因此能实现检查的高速化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP日本公开专利公报“特开2016-38350号公报(2016年3月22日公开)”

专利文献2：JP日本公开专利公报“特开昭61-22841号公报(1986年1月31日公开)”

发明内容

在此，在对象物旋转的情况下，在圆形外形面的俯视观察中，越远离圆形的中心的位置速度越快。由此，在使上述的对象物旋转而进行的检查中，在例如将圆形的中心附近的图像的取得最佳化的情况下产生下述(A)以及(B)的问题。

(A)越远离圆形的中心的位置则传感器取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分的面积在沿着旋转的方向上越大(换言之，该部分在沿着旋转的方向上延伸)。为此，对于远离圆形的中心的位置的图像，有可能分辨率变差而出现模糊，或者产生与圆形的中心附近的图像(分辨率未变差)的相对的位置偏离。

(B)考虑传感器的电磁波接收区域中的多个图像取得单位(例如像素)矩阵状排列的情况，该矩阵由沿着圆形外形面的某1个半径的行和与该行大致垂直的列构成。在该情况下，越远离圆形的中心的图像取得单位的列，在各图像取得单位间，取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分就越大地偏离。例如在传感器是TDI传感器的情况下，虽然使构成同一图像取得单位的列的在各图像取得单位取得的图像重合，但该偏离关系到重合后的图像的模糊。

即，在使上述的对象物旋转而进行的检查中，由于难以在圆形外形面的整体得到清晰的图像，因此会发生检查的精度变低的问题。

本发明的一个方案目的在于，实现能高精度且高速进行对象物的检查的检查装置以及检查方法。