[发明专利]一种化学气相沉积装置

摘要

本发明涉及气相沉积领域，具体的说是一种化学气相沉积装置，本发明利用增设的布气管和衬底架，使反应气以分散的形式进入，且气体下落的形态与衬底架吻合，使气体与基体的接触更加充分，提高反应效率；在进行反应时通过转动机构使衬底架旋转，旋转的衬底架不但可搅动反应箱内部气体，促进反应，同时可加大气体与基体的反应面积；在进行基体的取放时可通过密封机构的移动完成，不但方便基体与反应产物的取放，同时密封性能佳，操作灵活、便利；将产生的反应气体通过尾气处理机构进行处理，对产生的尾气进行初步净化，减小对环境、操作人体的危害，提高沉积的安全性能和环保性。

主权项

1.一种化学气相沉积装置，其特征在于：包括进气管(1)、布气管(2)、反应箱(3)、衬底架(4)、锁紧机构(5)、密封机构(6)、转动机构(7)、加热器(8)和尾气处理机构(9)，所述反应箱(3)的顶部设有进气管(1)，且所述进气管(1)通过所述布气管(2)连通所述反应箱(3)；所述反应箱(3)的内部设有衬底架(4)，且所述衬底架(4)的底部连接用于带动所述衬底架(4)旋转的所述转动机构(7)；所述转动机构(7)的侧部固定密封机构(6)，且所述密封机构(6)开合连接所述反应箱(3)；所述密封机构(7)用于取出所述衬底架(4)，且所述密封机构(6)与所述反应箱(3)之间通过所述锁紧机构(5)进行锁紧固定；所述反应箱(3)的底部固定加热器(8)，且所述反应箱(3)的底部连通所述尾气处理机构(9)。