[发明专利]一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置在审
| 申请号： | 201811026559.6 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109148338A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘玉龙;贺贤汉;朱强健 | 申请（专利权）人： | 杭州中芯晶圆半导体股份有限公司;上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％的混酸280L‑350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。 | ||
| 搜索关键词： | 混酸 腐蚀机 醋酸 硝酸 储备槽 氢氟酸 质量分数 换液 浓度调节 | ||
【主权项】：
1.一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％的混酸280L‑350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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