[发明专利]基于MEMS制动的微型光圈调制装置及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811020624.4 申请日: 2018-09-03
公开(公告)号: CN110873991B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 王晓川 申请(专利权)人: 芯知微(上海)电子科技有限公司
主分类号: G03B9/06 分类号: G03B9/06;G03B7/085
代理公司: 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 代理人: 张立君
地址: 201607 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种基于MEMS制动的微型光圈调整装置及其制备方法,在其入射光轴的周围布设M个相互间隔开且关于入射光轴轴对称的第一光圈调制旋转叶片和N个相互间隔开且关于入射光轴轴对称的第二光圈调制旋转叶片,第一电制动器件组在第一电信号的驱动下,能牵动机械相连的第一光圈调制旋转叶片和/或第二光圈调制旋转叶片旋转移动,进而牵动所有第一光圈调制旋转叶片和所有的第二光圈调制旋转叶片分别在所述第一叶片旋转面和所述第二叶片旋转面中同步顺时针或逆时针旋转,从而对所述入射光产生与所述与入射光轴轴对称的辐射阻挡,实现了自动调整(优化)入射光量的效果。本发明的基于MEMS制动的微型光圈调整装置能够实现电制动光圈调制,具有体积小、功耗低、制造成本低的优点。
搜索关键词: 基于 mems 制动 微型 光圈 调制 装置 及其 制备 方法
【主权项】:
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